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大宗氣體

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電子產(chǎn)業(yè)大宗氣

超純氦；純度：6N；指標(biāo)：O2+Ar≤0.1；N2≤0.1；CO≤0.1；CO2≤0.1；H2O≤0.2；CH4≤0.1;；Ne≤1； H2≤0.1

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