大宗氣體
| ?產(chǎn)品 | 純度 | 指標(biāo) |
| 超純氦 | 6N | O2+Ar≤0.1；N2≤0.1；CO≤0.1；CO2≤0.1；H2O≤0.2；CH4≤0.1;；Ne≤1； H2≤0.1 |
| 超純氧 | 6N | Ar≤0.2；N2≤0.1；CO2≤0.1；H2O≤0.5；CH4≤0.1；H2≤0.1 |
| 超純氬 | 6N | O2≤0.2；N2≤0.5；CO≤0.1；CO2≤0.1；H2O≤0.2；CH4≤0.1；H2≤0.1 |
| 超純氮 | 6N | O2≤0.1；Ar≤2；CO≤0.1；CO2≤0.1；H2O≤0.5；CH4≤0.1；H2≤0.1 |
| 超純氫 | 6N | O2+Ar≤0.2；N2≤0.4；CO≤0.1；CO2≤0.1；H2O≤0.5；CH4≤0.2 |
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