SF6
產(chǎn)品型號：
SF
產(chǎn)品特點
昊華氣體有限公司成立于2020年7月，總部位于洛陽，是中國化工集團(tuán)有限公司整合黎明院（洛陽）、光明院（大連）、西南院（成都）氣體業(yè)務(wù)組建而成的集科研生產(chǎn)、開發(fā)設(shè)計、技術(shù)服務(wù)、質(zhì)量檢驗于一體的綜合性科技型企業(yè)。
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產(chǎn)品詳情
SF6電子級六氟化硫 5N
應(yīng)用
電子級六氟化硫主要用作半導(dǎo)體和電子工業(yè)中化學(xué)氣象積淀的清洗劑和等離子蝕刻劑，廣泛用于TFT-LCD。半導(dǎo)體和太陽能面板等領(lǐng)域。
產(chǎn)能
1000t/年
產(chǎn)品指標(biāo)
|
項目名稱 |
SF610-2 |
CF4 10-6 |
N2 10-6 |
O2+Ar 10-6 |
CO 10-6 |
CO210-6 |
CH4 10-6 |
Acidity10-6 |
HydrolyzableFluoride 10-6 |
H20 10-6 |
|
5N |
≥99.999 |
≤0.5 |
≤2 |
≤2 |
≤0.5 |
≤0.5 |
≤0.5 |
≤0.1 |
------ |
≤3 |
|
5.5N |
≥99.9995 |
≤0.1 |
≤2 |
≤1 |
≤0.1 |
≤0.3 |
≤0.1 |
≤0.004 |
≤0.8 |
≤1 |
包裝規(guī)格
|
鋼瓶體積 |
40L/43.3L/47L/48.8L |
440L/470L |
40ft ISO |
|
鋼瓶容量 |
50kg |
500kg |
12400kg |
|
瓶閥規(guī)格 |
CGA590/DISS716 |
DISS716 |
DISS716 |
關(guān)鍵詞：氣體產(chǎn)品、電子特氣
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