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業(yè)務(wù)中心

電子特氣

大宗氣體

含氟精細(xì)化學(xué)品

工業(yè)氣體及標(biāo)準(zhǔn)氣

工程服務(wù)及供氣技術(shù)

分析檢驗(yàn)

首頁(yè)

NF3

產(chǎn)品型號(hào)：

產(chǎn)品特點(diǎn)

昊華氣體有限公司成立于2020年7月，總部位于洛陽(yáng)，是中國(guó)化工集團(tuán)有限公司整合黎明院（洛陽(yáng)）、光明院（大連）、西南院（成都）氣體業(yè)務(wù)組建而成的集科研生產(chǎn)、開(kāi)發(fā)設(shè)計(jì)、技術(shù)服務(wù)、質(zhì)量檢驗(yàn)于一體的綜合性科技型企業(yè)。

在線咨詢

產(chǎn)品詳情

　　充裝容器：47 L cyl, 16 cyl bundle, 440 L, 20 ft ISO, 40 ft ISO

　　閥門(mén)種類(lèi) ：滿足客戶不同需求

NF3電子級(jí)三氟化氮 4N-4N5

應(yīng)用

　　三氟化氮是在制造半導(dǎo)體，液晶顯示器，太陽(yáng)能電池的化學(xué)氣象積淀，(Chemical Vapor Deposition，簡(jiǎn)稱CVD)工藝中，用于清除艙室內(nèi)壁殘留物的氣體。

產(chǎn)能

2000t/年（4600噸項(xiàng)目建成后可達(dá)5000t/年）

產(chǎn)品指標(biāo)

項(xiàng)目名稱	NF₃10^-2	CF₄10^-6	N₂10^-6	O₂+Ar 10^-6	CO 10^-6	CO₂10^-6	N₂O 10^-6	SF₆10^-6	HF 10^-6	H₂0 10^-6
GB/T 21287-2007	≥99.99	≤50	≤10	≤5	≤5	≤5	≤5	≤5	≤1	≤1
Q/CHC 001-2020	≥99.99	≤40	≤5	≤3	≤1	≤5	≤5	≤5	≤1	≤1

包裝規(guī)格

鋼瓶體積	43L/47L	440L/470L	20ft ISO	40ft ISO
鋼瓶容量	20kg	200kg	4000kg	8000kg
瓶閥規(guī)格	CGA330/DIWW640/JIS22R	CGA330/DISS640/JIS22R	DISS640	DISS640