WF6
產品型號：
WF
產品特點
昊華氣體有限公司成立于2020年7月，總部位于洛陽，是中國化工集團有限公司整合黎明院（洛陽）、光明院（大連）、西南院（成都）氣體業(yè)務組建而成的集科研生產、開發(fā)設計、技術服務、質量檢驗于一體的綜合性科技型企業(yè)。
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產品詳情
WF6 電子級六氟化鎢 5N
應用
六氟化鎢主要用于電子工業(yè)中金屬鎢化學氣象積淀工業(yè)（CVD）工藝，由它制成的硅化鎢（WSi2）可用作大規(guī)模集成電路中的配線材料。此外，六氟化鎢還用于制作半導體電極和導電漿糊等。
產能
100t/年 （4600噸項目建成后可達700t/年）
產品指標
|
輕組分雜質技術指標（10-6） 純度99.999% |
||||||||
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項目 |
O2 |
N2 |
CO |
CO2 |
CF4 |
SF6 |
SiF4 |
HF |
|
指標 |
≤0.5 |
≤1.0 |
≤0.5 |
≤0.5 |
≤0.5 |
≤0.5 |
≤0.5 |
≤5.0 |
|
金屬元素雜質（10-9，質量分數） |
||||||||
|
項目 |
Fe |
K |
Na |
Cr |
Th |
U |
Co |
Pb |
|
指標 |
≤20 |
≤20 |
≤15 |
≤10 |
≤0.1 |
≤0.1 |
≤10 |
≤10 |
|
項目 |
Ca |
Mg |
Ni |
Cu |
Al |
Mn |
Mo |
Zn |
|
指標 |
≤10 |
≤10 |
≤20 |
≤10 |
≤20 |
≤20 |
≤100 |
≤10 |
包裝規(guī)格
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鋼瓶體積 |
10L |
40L |
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鋼瓶容量 |
15kg |
50kg |
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瓶閥規(guī)格 |
CGA638 |
CGA638 |
或根據客戶要求提供其他規(guī)格的包裝
關鍵詞：氣體產品、電子特氣