CF4
產(chǎn)品型號：
CF
產(chǎn)品特點
昊華氣體有限公司成立于2020年7月，總部位于洛陽，是中國化工集團有限公司整合黎明院（洛陽）、光明院（大連）、西南院（成都）氣體業(yè)務組建而成的集科研生產(chǎn)、開發(fā)設計、技術(shù)服務、質(zhì)量檢驗于一體的綜合性科技型企業(yè)。
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產(chǎn)品詳情
CF4電子級四氟化碳 5N-5N7
應用
CF4又名四氟甲烷、R14，是一種無色、無毒、不燃燒、有輕微醚味的無腐蝕性氣體。通常以壓縮狀態(tài)儲存，高壓運輸，其性質(zhì)十分穩(wěn)定，是目前半導體行業(yè)主要的等離子體蝕刻氣體之一，廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅、金屬硅化物以及某些金屬的蝕刻。同時，在低溫制冷、電子器件表面清洗和氣象絕緣等方面被廣泛應用。
產(chǎn)能
450t/年 （4600噸項目建成后可達1450t/年）
產(chǎn)品指標
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項目名稱 |
CF4 10-2 |
N2 10-6 |
O210-6 |
CO 10-6 |
CO210-6 |
SF610-6 |
Acidity10-6 |
Other halocarbons F-C 10-6 |
H20 10-6 |
|
5N |
≥99.999 |
≤4 |
≤1 |
≤0.1 |
≤1 |
≤1 |
≤1 |
≤1 |
≤1 |
|
5.8N |
≥99.9998 |
≤1 |
≤0.5 |
≤0.1 |
≤0.4 |
≤0.1 |
≤0.1 |
≤0.5 |
≤0.5 |
包裝規(guī)格
|
鋼瓶體積 |
43L |
47L |
40ft ISO |
|
鋼瓶容量 |
26kg |
30kg |
12400kg |
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瓶閥規(guī)格 |
CGA580 |
CGA320/CGA580 |
DISS716 |
或根據(jù)客戶要求提供其他規(guī)格的包裝
關(guān)鍵詞：氣體產(chǎn)品、電子特氣