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業(yè)務(wù)中心

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CF4

產(chǎn)品型號(hào)：

產(chǎn)品特點(diǎn)

昊華氣體有限公司成立于2020年7月，總部位于洛陽(yáng)，是中國(guó)化工集團(tuán)有限公司整合黎明院（洛陽(yáng)）、光明院（大連）、西南院（成都）氣體業(yè)務(wù)組建而成的集科研生產(chǎn)、開(kāi)發(fā)設(shè)計(jì)、技術(shù)服務(wù)、質(zhì)量檢驗(yàn)于一體的綜合性科技型企業(yè)。

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產(chǎn)品詳情

CF4電子級(jí)四氟化碳 5N-5N7

應(yīng)用

CF4又名四氟甲烷、R14，是一種無(wú)色、無(wú)毒、不燃燒、有輕微醚味的無(wú)腐蝕性氣體。通常以壓縮狀態(tài)儲(chǔ)存，高壓運(yùn)輸，其性質(zhì)十分穩(wěn)定，是目前半導(dǎo)體行業(yè)主要的等離子體蝕刻氣體之一，廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、金屬硅化物以及某些金屬的蝕刻。同時(shí)，在低溫制冷、電子器件表面清洗和氣象絕緣等方面被廣泛應(yīng)用。

產(chǎn)能

450t/年（4600噸項(xiàng)目建成后可達(dá)1450t/年）

產(chǎn)品指標(biāo)

項(xiàng)目名稱(chēng)	CF₄10^-2	N₂10^-6	O₂10^-6	CO 10^-6	CO₂10^-6	SF₆10^-6	Acidity10^-6	Other halocarbons F-C 10^-6	H₂0 10^-6
5N	≥99.999	≤4	≤1	≤0.1	≤1	≤1	≤1	≤1	≤1
5.8N	≥99.9998	≤1	≤0.5	≤0.1	≤0.4	≤0.1	≤0.1	≤0.5	≤0.5